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W1光學(xué)3d表面輪廓儀器采用白光干涉技術(shù),結(jié)合具有優(yōu)異抗噪性能的3D重建算法,真實還原樣品的每一個細(xì)節(jié),隨意翻轉(zhuǎn)縮放,都能輕松觀察、測量樣品的任意特征。中圖儀器提供1100單鏡頭手動版和1200多鏡頭自動版兩種機(jī)型,另可針對不同的客戶需求,在兩種型號間選取不同配置進(jìn)行組合,讓儀器切合客戶需求,貼心省力。
參數(shù)
產(chǎn)品型號:SuperView W1系列
產(chǎn)品名稱:光學(xué)3D表面輪廓儀
影像系統(tǒng):1024×1024
光學(xué)ZOOM:0.5×,(0.75×,1×可選)
干涉物鏡:10×,(2.5×,5×,20×,50×,100×可選)
XY平臺:尺寸320×200mm,行程140×110mm,電動、手動同時具備,均為光柵閉環(huán)反饋
Z軸行程:100mm,電動
Z向掃描范圍:10mm
Z向分辨率:0.1nm
可測樣品反射率:0.05%-100%
水平調(diào)整:±5°手動
粗糙度RMS重復(fù)性:0.005nm
臺階高測量:準(zhǔn)確度0.3%,重復(fù)性0.08% 1σ
主要特點:非接觸式無損檢測,一鍵分析、測量速度快、效率高
生產(chǎn)企業(yè):深圳市中圖儀器股份有限公司
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W1光學(xué)3d表面輪廓儀器粗糙度、平面度、孔洞分析等3D測量功能全部囊括,距離、角度、直徑測量等2D輪廓分析功能覆蓋,有依據(jù)ISO|ASME|EUR|GBT四大國內(nèi)外標(biāo)準(zhǔn)的300余種特征參數(shù)。重建算法自動濾除樣品表面噪點,在硬件系統(tǒng)的配合下,分辨率可達(dá)0.1nm,廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精密器件表面的測量。
薄膜粗糙度測量
磨損定量分析
塑料薄片微觀
應(yīng)用
在3C領(lǐng)域,SuperView W1系列光學(xué)輪廓儀可以測量藍(lán)寶石屏、濾光片、表殼等表面粗糙度;
在LED行業(yè),SuperView W1系列光學(xué)輪廓儀可以測量藍(lán)寶石、碳化硅襯底表面粗糙度;
在光纖通信行業(yè),SuperView W1系列光學(xué)輪廓儀可以測量光纖端面缺陷和粗糙度;
在集成電路行業(yè),SuperView W1系列光學(xué)輪廓儀可以測量硅晶片或陶瓷晶片表面粗糙度;
在EMES行業(yè),SuperView W1系列光學(xué)輪廓儀可以測量臺階高度和表面粗糙度;
在軍事領(lǐng)域,SuperView W1系列光學(xué)輪廓儀可以測量藍(lán)寶石觀察窗口表面粗糙度......